Растровые микроскопы с термополевой эмиссией JSM-7001f, JSM-7600f
Эти приборы сочетают возможность исследования наноструктур с высоким пространственным разрешением и широкие аналитические возможности (максимальный ток пучка составляет 200 нА)
Спецификация
|